Ridurre l energia nell asciugatura in fabbrica

Mon, 01 Jun 2026 17:41:30 +0800

Sulla linea di produzione, ogni watt speso per l’asciugatura è un watt che non si può utilizzare per il margine di processo. Forni e piastre riscaldanti tradizionali superano abitualmente il budget termico, sprecando energia nel tentativo di raggiungere la uniformità di ±0,1°C effettivamente richiesta dalla litografia. Serve un’asciugatura rapida, pulita e ripetibile, senza che la bolletta energetica lieviti.

Cosa conta, tecnicamente
Costruiamo la fase di asciugatura attorno al riscaldamento a infrarosso vicino (NIR) tarato sull’assorbimento di acqua e solventi, in modo che l’energia vada nell’evaporazione e non nel riscaldamento di supporti e fissaggi. Il sistema mantiene l’uniformità termica a livello wafer entro ±0,1°C su tutta la finestra operativa—dopo la pulizia e asciugatura, durante il soft bake e l’hard bake del photoresist. La costruzione in classe cleanroom garantisce emissione di particelle pari a zero, consentendo l’uso in ambienti class 1–100 senza rischio di contaminazione. La ripetibilità della temperatura è assicurata dal controllo ad anello chiuso e dalla stabilità dell’emettitore, per mantenere lo stesso profilo termico turno dopo turno.

Riducendo on Eco-Friendly Infrared Heating

Ridurre l energia nell asciugatura in fabbrica