Come sostituire la lampada del riscaldatore RTP

Tue, 02 Jun 2026 03:44:32 +0800

Role

Se il tempo di attività RTP e il controllo della temperatura sul pavimento non sono opzionali. Se la lampada devia o il riscaldatore non mantiene l’uniformità, lo si nota immediatamente: soft bake del photoresist fuori specifica, hard bake che modifica la larghezza della linea o una cura del package che intrappola vuoti. Il budget termico è rigoroso e la scelta del ricambio deve rispettarlo.

Ciò che conta realmente è abbinare l’emissione della lampada alla geometria della camera. Utilizziamo lampade alogene NIR che forniscono energia stabile a onde corte per una rapida salita in temperatura, con uniformità a livello wafer entro ±0,1°C. Le buste di quarzo e le tolleranze strette del filamento mantengono la generazione di particelle a zero, anche in ambienti Class 1–100. Le specifiche sono scelte in base ai vincoli reali dello strumento: bande di tensione standard, interfacce connettore abbinate e lunghezze delle buste che superano la finestra e lo schermo senza contatto. Il risultato sono profili di temperatura ripetibili, senza approssimazioni.

Sostituire on Eco-Friendly Infrared Heating

Come sostituire la lampada del riscaldatore RTP

Role