http://eco-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A8%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウエハー on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Mon, 08 Jun 2026 02:32:28 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/automated-wafer-drying-heater/ Mon, 08 Jun 2026 02:32:28 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="自動ウェーハ乾燥ヒーター"></p> <h1 id="fabフロアではフォトレジスト処理および後工程の洗浄乾燥においてミスの余地はほとんどないナノメートルレベルの許容差の話である焼成温度がずれる乾燥プロファイルが均一でない加熱中に一つでも異物が混入すれば多数のウェーハを失うことになる">Fabフロアでは、フォトレジスト処理および後工程の洗浄乾燥において、ミスの<a href="https://goldisgood.com">余地</a>はほとんどない。ナノメートルレベルの許容差の話である。焼成温度がずれる、乾燥プロファイルが均一でない、加熱中に一つでも異物が混入すれば、多数のウェーハを失うことになる。</h1> <p>これらの変数を排除するために、自動ウェーハ乾燥ヒーターを開発した。</p> <p><strong><a href="https://henruite.com">内部</a>の重要なポイント</strong></p> <p>本ユニットは、閉ループ制御された短波長赤外線（NIR）エミッターを採用している。セットポイントの安定性はウェーハ全体で±0.1℃以内に維持され、プロセス面での熱的均一性も±0.1℃に保たれている。これにより、ソフトベークおよびハードベークのプロファイルをロットごとに再現可能にしている。</p> http://eco-ir-heater.com/ja/posts/solar-cell-wafer-drying-lamp/ Fri, 05 Jun 2026 01:17:16 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/solar-cell-wafer-drying-lamp/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ソーラーセルウエハ乾燥ランプ"></p> <h1 id="ファブフロアにおけるウェットウエハは許容できない負債です残留水分は露光後のパターン崩壊を引き起こしわずかに異なる焼成プロファイルは重要な寸法のドリフトを引き起こしますこれが太陽電池ウエハの乾燥ランプが存在する理由ですウエハの乾燥フォトレジストのソフトベークおよびハードベークパッケージングエンキャプスレーションの硬化ポストクリーニングの乾燥における推測を排除します">ファブフロアにおけるウェットウエハは許容できない負債です。残留水分は露光後のパターン崩壊を引き起こし、わずかに異なる焼成プロファイルは重要な寸法のドリフトを引き起こします。これが、太陽電池ウエハの乾燥ランプが存在する理由です：ウエハの乾燥、フォトレジストのソフトベークおよびハードベーク、パッケージングエンキャプスレーションの硬化、ポストクリーニングの乾燥における推測を排除します。</h1> <p>私たちは、クォーツアセンブリ内の近赤外線（NIR）ハロゲンエミッターに基づいてランプを構築しました。ポイントは、低熱質量での<a href="https://henruite.com">迅速</a>かつ方向性のある加熱です。これは、迅速な安定化と厳密な制御に変換されます：照射ゾーン<a href="https://o-yate.com">全体</a>での±0.1℃のウエハレベルの均一性、繰り返し可能な設定ポイントからウエハへの応答、およびクラス1～100のクリーンルームに適合した構造です。</p> <p>出力は長時間の運転でも安定しています。フィールドユニットは5,000時間以上の稼働を記録し、強度のドリフトは5%未満です。また、密閉された光学経路と低ガス放出材料を使用して粒子生成を低く抑え、プロセスチャンバー内の汚染を防ぎます。</p>