http://eco-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%AA%E3%83%83%E3%82%AF%E3%82%B9%E3%83%95%E3%82%A9%E3%83%BC%E3%83%89/ Recent content in オックスフォード on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 01:21:57 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/oxford-instruments-heater-element/ Tue, 30 Jun 2026 01:21:57 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/oxford-instruments-heater-element/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="オックスフォード・インストルメンツのヒーター素子"></p> <p>現場では、温度というのは単なる設定値ではありません。それは、シフトがあるたびに感じられるプロセス上の要素なのです。ソフトベイクやハードベイク時に半度程度の誤差が生じるだけで、CDの位置が変わったり、レジストの形状が乱れたりして、結果として歩留まりが規格から外れてしまいます。オックスフォード・インスツルメンツのヒーター素子は、このような状況に対応するために作られています。つまり、ウェーハが必要とする場所に正確に熱を供給し、ノイズを発生させないのです。</p>