http://eco-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%B0%E3%83%AD%E3%83%BC%E3%83%96%E3%83%9C%E3%83%83%E3%82%AF%E3%82%B9/ Recent content in グローブボックス on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Sat, 25 Jul 2026 02:35:06 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-through-safety-design-in-glovebox-ir-heaters/ Sat, 25 Jul 2026 02:35:06 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-through-safety-design-in-glovebox-ir-heaters/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="グローブボックス用赤外線ヒーター素子"></p> <p>IRランプによってウェーハが破壊されるのを防ぎましょう。<br> <a href="https://henruite.com">高負荷</a>のグローブボックスを使用している場合、その恐ろしい状況はご存知でしょう。IRランプが破損すると、単に装置が停止するだけでなく、大変な混乱に陥ります。石英の破片や微細な粒子がウェーハの上に降り注ぎます。これは災害です。しかし、これは完全に避けることができます。<br> 私たちは、このような二次的な汚染が起こらないように、特別に設計されたIR素子を使用しています。</p> <p><strong>なぜこれらのチューブが破損するのでしょうか？</strong><br> 通常、熱ショックや局所的な過熱が原因です。チューブ壁の厚さに対して電力密度が高すぎると、石英はその応力に耐えられずに破損してしまいます。<br> これを解決するために、高純度の合成石英を使用しています。この石英は特定の熱膨張係数を持っており、急激な温度変化にも耐えられます。つまり、高ワット数の電力を投入しても、チューブは壊れません。</p>