http://eco-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%B7%E3%83%AA%E3%82%B3%E3%83%B3/ Recent content in シリコン on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Fri, 19 Jun 2026 02:05:11 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/silicon-wafer-drying-infrared-lamp/ Fri, 19 Jun 2026 02:05:11 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/silicon-wafer-drying-infrared-lamp/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="シリコンウェーハ乾燥用赤外線ランプ"></p> <p>ウェハーの乾燥工程においては、わずか0.5度のずれだけで、重要な寸法のバイアスが生じ、レジストに欠陥が発生する可能性があります。そのため、工程カードで指定された条件に合致するような熱を、シフトごと、ロットごとに正確に供給する必要があります。これが、シリコンウェハー用の赤外線ランプが設計される際の基本原理です。</p>