http://eco-ir-heater.com/ja/tags/%E3%83%86%E3%82%B9%E3%83%88/ Recent content in テスト on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 01:20:07 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/wafer-burn-in-test-heating-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 01:20:07 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/wafer-burn-in-test-heating-lamp/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ウェーハバーンイン試験用加熱ランプ"></p> <p>ファブ内では、バーンイン処理やフォトレジストの焼成時に生じる温度変動は、単に歩留まりを低下させるだけでなく、完全に歩留まりを失わせてしまいます。ウェーハ全体で0.5℃の温度不均一性があると、その勾配がフォトレジストに直接<a href="https://henruite.com">影響</a>を与え、露光・現像後に寸法誤差につながります。したがって、熱を単なるランダムな要素ではなく、真のプロセスパラメータとして扱う必要があります。</p>