http://eco-ir-heater.com/ja/tags/%E3%83%A2%E3%82%B8%E3%83%A5%E3%83%BC%E3%83%AB/ Recent content in モジュール on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 12:21:19 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ Mon, 01 Jun 2026 12:21:19 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ファブ用赤外線加熱モジュール"></p> <p>ファブフロアにおいて、温度は単なるパラメータではない。温度こそがプロセスそのものである。<br> ベイク温度のドリフトはフォトレジストの流れを変え、クリティカルディメンションをずらす。ウェハー乾燥時のホットスポットはマイクロスキンを形成し、表面を粒子トラップに変えてしまう。パッケージング工程では、均一でない硬化プロファイルが反りや剥離として現れることが多く、これらはダイが既に支払い済みのシングレーション後に初めて判明する場合が多い。熱制御が失敗すると、生産ラインは単に遅くなるだけでなく、<a href="https://o-yate.net">歩留</a>まりと再現性が最初に影響を受ける。<br> 我々はファブ用に赤外線加熱モジュールを開発した。熱制御は測定可能で、安定的かつクリーンでなければならず、クラス1〜100の環境内で使用してもプロセスチャンバーにリスクを付加しないことが求められるためである。</p>