http://eco-ir-heater.com/ja/tags/%E5%89%8A%E6%B8%9B%E3%81%99%E3%82%8B/ Recent content in 削減する on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 17:41:30 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/reducing-energy-in-fab-drying/ Mon, 01 Jun 2026 17:41:30 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/reducing-energy-in-fab-drying/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ファブ乾燥におけるエネルギー削減"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>ファブフロアでは、乾燥に消費するワットはすべて、プロセスマージンに使えないワットである。従来型のオーブンやホットプレートは、熱予算を超過しがちであり、リソグラフィに必要な±0.1℃の均一性を追求する過程でエネルギーを浪費している。乾燥は迅速でクリーンかつ再現性があり、かつ光熱費が跳ね上がらないことが求められる。</p>