http://eco-ir-heater.com/ja/tags/%E6%8E%A5%E7%9D%80%E5%89%A4/ Recent content in 接着剤 on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Fri, 26 Jun 2026 01:17:10 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/infrared-curing-for-semiconductor-glue/ Fri, 26 Jun 2026 01:17:10 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/infrared-curing-for-semiconductor-glue/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="半導体用接着剤の赤外線硬化"></p> <p>300mmウェーハの製造において、接着剤の硬化処理は単なる加熱工程ではありません。それは寸法制御の観点からも<a href="https://goldisgood.com">重要</a>な要素です。わずか数度のずれがあっただけで、フォトレジストの<a href="https://henruite.com">形状</a>が変わり、重ね合わせが乱れてしまいます。その<a href="https://o-yate.com">結果</a>、レティクルがウェーハに接触する前から品質が低下してしまいます。だからこそ、半導体用接着剤には赤外線を利用するのです。これにより、ばらつきを抑えることができます。</p> <p><strong>内部で何が起こっているか</strong> 私たちは、迅速かつ均一な加熱を<a href="https://o-yate.net">実現</a>するために、近赤外線を使用して接着剤層やフォトレジスト層を加熱します。その結果、ウェーハ全体の温度が±0.1℃以内に統一されます。この値は、ヒーターの表面ではなく、フィルムの界面で測定されます。この装置はクリーンルーム内で動作し、クラス1～100の環境下で使用され、粒子の発生もありません。また、再現性の高いソフトベイクやハードベイクプロセスを実現し、厳格な温度管理が可能です。そして、24時間365日、計画外の停止時間なしで大量生産が可能です。</p>