ウエハ加熱時の安全距離

ウェーハ加熱における熱と距離の間のバランス もし半導体製造プラントの炭素排出量を減らしたいのであれば、古い抵抗式の炉に頼るのはやめなければなりません。そうした炉はエネルギーを無駄に消費します。代わりに短波赤外線システムを利用するのが最善です。なぜなら、赤外線ランプはウェーハの表面に直接当たるからで...