http://eco-ir-heater.com/ja/tags/%E6%9C%AA%E6%9D%A5/ Recent content in 未来 on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Mon, 22 Jun 2026 18:55:05 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/ Mon, 22 Jun 2026 18:55:05 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="半導体加熱技術の将来"></p> <p>ファブ内では、ソフトベイクやハードベイクの際に生じる熱変動は、単に線幅の問題だけにとどまりません。このような熱変動は、製品の歩留まりや再現性を徐々に低下させてしまいます。オーブンがウェーハ全体にわたって一定の温度を維持できない場合、フォトレジストの状態が不安定になり、エッチングの精度も悪化します。その結果、コントロールを保つ代わりに、修正に時間が費やされてしまいます。</p>