要素 on Eco-Friendly Infrared Heating

グローブボックス用赤外線ヒーター素子

Sat, 25 Jul 2026 02:35:06 +0800

IRランプによってウェーハが破壊されるのを防ぎましょう。
高負荷のグローブボックスを使用している場合、その恐ろしい状況はご存知でしょう。IRランプが破損すると、単に装置が停止するだけでなく、大変な混乱に陥ります。石英の破片や微細な粒子がウェーハの上に降り注ぎます。これは災害です。しかし、これは完全に避けることができます。
私たちは、このような二次的な汚染が起こらないように、特別に設計されたIR素子を使用しています。

なぜこれらのチューブが破損するのでしょうか？
通常、熱ショックや局所的な過熱が原因です。チューブ壁の厚さに対して電力密度が高すぎると、石英はその応力に耐えられずに破損してしまいます。
これを解決するために、高純度の合成石英を使用しています。この石英は特定の熱膨張係数を持っており、急激な温度変化にも耐えられます。つまり、高ワット数の電力を投入しても、チューブは壊れません。

交換用ヒーター要素 IP65

Wed, 15 Jul 2026 13:42:49 +0800

冷えた更衣室をすばやく温める方法

水泳の後に更衣室やスパに入ったと想像してみてください。とても寒いですよね。20分も待ってエアコンが部屋全体を温めるのを待つのは嫌ですよね。今すぐ暖かくなりたいのです。
そんな時に役立つのが短波赤外線です。部屋全体を温めるのではなく、この装置は直接肌や周囲の表面に熱を与えます。瞬時に暖かくなります。
しかし、湿気の多い環境では、単純にヒーターを置くだけではいけません。IP65等級のケースが必要です。そうでないと、湿気やほこりが内部に入り込み、装置が故障してしまいます。それだけです。

オックスフォード・インストルメンツのヒーター素子

Tue, 30 Jun 2026 01:21:57 +0800

現場では、温度というのは単なる設定値ではありません。それは、シフトがあるたびに感じられるプロセス上の要素なのです。ソフトベイクやハードベイク時に半度程度の誤差が生じるだけで、CDの位置が変わったり、レジストの形状が乱れたりして、結果として歩留まりが規格から外れてしまいます。オックスフォード・インスツルメンツのヒーター素子は、このような状況に対応するために作られています。つまり、ウェーハが必要とする場所に正確に熱を供給し、ノイズを発生させないのです。