http://eco-ir-heater.com/ja/tags/%E9%9C%B2%E5%87%BA/ Recent content in 露出 on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="露光後ベイク PEB ヒーター"></p> <p>リソグラフィー工程において、PEB時の温度変動は警告灯としては表れません。代わりに、ウェーハの線幅が不安定になったり、ドーズマージンが減少したり、後から初めて問題が発見されることになります。このため、私たちは露光後の加熱装置を開発しました。これにより、そのような不確実性を排除できます。なぜなら、フォトレジストの化学反応は、所定の温度範囲を外れると正常に機能しなくなるからです。</p>