http://eco-ir-heater.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Sun, 19 Jul 2026 08:28:53 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 19 Jul 2026 08:28:53 +0800 http://eco-ir-heater.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>MEMSウェーハの適切な乾燥方法<br> MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、実に繊細な作業です。もし加熱の分布が適切でなければ、表面張力の影響でセンサーの膜が傷ついてしまいます。<br> このような事態を防ぐために、私たちは特殊な赤外線ヒーターを使用します。目的は単純です——残っている液体を瞬時に蒸発させることですが、センサー自体が壊れないようにしなければなりません。</p>