화학 공장에서 부품을 건조할 때는 마치 불과 싸우는 것과 같습니다. 주변에는 휘발성이 강한 청소제들이 널려 있기 때문입니다. 이러한 환경에서는 아주 작은 스파크나 뜨거운 표면이 잘못된 곳에 닿기만 해도 업무가 재앙으로 변할 수 있습니다. 그래서 우리는 단순히 램프를...

MEMS 웨이퍼를 올바르게 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조하는 것은 꽤 위험한 작업입니다. 열 분포를 적절히 조절하지 못하면 표면 장력으로 인해 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 그렇게 되면 섬세한 센서 막이 파괴됩니다. 이를 방지하기 위해 우리는 특수한 적...

웨이퍼 건조 과정에서 단 0.5도의 온도 변화만 있어도 치명적인 오차가 발생할 수 있으며, 이로 인해 리지스트에 결함이 생길 수 있습니다. 따라서 공정 카드에 명시된 대로 정확한 온도를 유지해야 합니다. 이것이 바로 이 실리콘 웨이퍼 건조용 적외선 램프가 설계될 때...

생산 현장에서는 열 변동이 은밀하게 제품의 품질을 저하시키는 원인이 됩니다. 포토레지스트를 소프트 베이크할 때 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결함이 발생할 수 있습니다. 클리닝 과정에서 온도가 균일하지 않다면, 그로 인해 물 자국이 생겨 나중에 결함으로...

공정 현장에서는 포토레지스트 처리와 후속 정리 건조 과정에서 실수가 발생할 여지가 많지 않습니다. 우리는 나노미터 수준의 허용 오차에 대해 이야기하고 있습니다. 베이크 온도가 변하거나, 건조 프로파일이 균일하지 않거나, 가열 중에 하나의 이물질이 유입되면 많은 웨이퍼...

라인에서 촉매층은 오차 없이 건조되어야 합니다. 덜 구워지면 용매를 가두어 델라미네이션이 발생하고, 과도하게 구워지면 활성 표면적이 소실됩니다. 어느 쪽이든 재료가 소모되고 셀을 폐기하게 됩니다. 우리는 이러한 현실에서 작동하도록 연료전지 촉매 건조 램프를 설계했습니...

공정 현장에서 젖은 웨이퍼는 감당할 수 없는 부담입니다. 남은 수분은 노출 후 패턴 붕괴를 초래하며, 배이크 프로파일이 조금이라도 어긋나면 중요한 치수가 변동됩니다. 그래서 태양 전지 웨이퍼 건조 램프가 존재하는 이유는 웨이퍼 건조, 포토레지스트 소프트 베이크 및 하...

Role 공장 현장에서 건조에 사용하는 와트는 공정 마진에 쓸 수 없는 와트입니다. 기존 오븐과 핫플레이트는 리소그래피가 실제로 필요로 하는 ±0.1°C 균일도를 맞추기 위해 열 예산을 자주 초과하며 에너지를 낭비합니다. 빠르고 깨끗하며 반복 가능한 건조가 필요하지만...