클린룸용 카트를 ‘오븐’으로 만들지 마세요 대부분의 가열 요소는 열을 사방으로 방출합니다. 반도체 클린룸에서는 이것이 문제를 야기합니다. 구식 히터를 사용할 경우, 장비의 내부 벽면이 그 낭비된 에너지를 모두 흡수하게 됩니다. 그 결과, 장비의 외부가 너무 뜨거워져서...

반도체 장비의 내부를 가열할 때, 기기 전체가 오븐처럼 되어버리는 상황을 겪어본 적이 있나요? 이는 공학적으로 매우 심각한 문제입니다. 문제는 일반적인 대류식 히터는 공기만을 따뜻하게 할 뿐이라는 점입니다. 그렇게 따뜻해진 공기는 주변의 모든 표면에 닿으며, 결국 기...

라인상에서 300mm 웨이퍼가 베이킹 스테이션으로 들어갑니다. 포토레지스트는 몇 초 이내에 전체 표면에 걸쳐 목표 온도에 도달해야 합니다. 이 시간을 놓치면 CD의 정밀도가 떨어지게 되고, 그로 인해 생산 효율도 저하됩니다. 핵심은 무엇인가? 우리는 빠르고 안정적인...