http://eco-ir-heater.com/ko/tags/%EB%85%B8%EC%B6%9C-%EB%85%B8%EC%B6%9C%EB%9F%89-%ED%8F%AD%EB%A1%9C/ Recent content in 노출; 노출량; 폭로 on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ko Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/ko/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/ko/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="노출 후 베이킹(PEB) 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서 PEB 온도의 변동은 경고등으로 표시되지 않습니다. 대신, 웨이퍼의 선광폭이 변하거나, 조사량이 줄어들며, 결과적으로 폐기해야 하는 웨이퍼가 생깁니다. 이러한 문제들을 해결하기 위해 우리는 포스트-에кспози션 베이크 히터를 개발했습니다. 포토레지스트의 화학적 특성상, 온도가 허용 범위를 벗어나면 문제가 발생하기 때문입니다.</p>