http://eco-ir-heater.com/ko/tags/%EB%B6%88%ED%83%9C%EC%9A%B0%EB%8B%A4-%ED%83%9C%EC%9B%8C%EB%B2%84%EB%A6%AC%EB%8B%A4/ Recent content in 불태우다; 태워버리다 on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ko Sat, 27 Jun 2026 01:20:07 +0800 http://eco-ir-heater.com/ko/posts/wafer-burn-in-test-heating-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 01:20:07 +0800 http://eco-ir-heater.com/ko/posts/wafer-burn-in-test-heating-lamp/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="웨이퍼 벌진 테스트용 가열 램프"></p> <p>제조 공정에서는, 베어인 과정이나 포토레지스트 건조 과정 중에 발생하는 온도 변동이 단순히 생산 효율에 영향을 미치는 것이 아니라, 심지어 생산 자체를 망칠 수도 있습니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.5°C의 온도 불균일성이 있다면, 그 차이가 포토레지스트에 직접적인 영향을 미치게 되며, 이로 인해 노출 및 개발 과정 후에 치수 오차가 발생합니다. 따라서 온도는 단순한 변수가 아닌, 실제 공정 파라미터로 다뤄져야 합니다.</p>