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반도체 접착제용 적외선 경화

반도체 접착제용 적외선 경화

300mm 생산 라인에서는 접착제의 경화 과정이 단순한 열처리 단계가 아닙니다. 이는 치수적 제약 요소입니다. 몇 도만의 오차가 생겨도 포토레지스트의 형상이 변하고, 패턴이 어긋나게 됩니다. 그 결과, 리텔이 웨이퍼에 닿기 전에도 수율이 떨어집니다. 그래서 우리는 반...
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