http://eco-ir-heater.com/ko/tags/%ED%8C%A8%EB%B8%8C/ Recent content in 패브 on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 17:41:30 +0800 http://eco-ir-heater.com/ko/posts/reducing-energy-in-fab-drying/ Mon, 01 Jun 2026 17:41:30 +0800 http://eco-ir-heater.com/ko/posts/reducing-energy-in-fab-drying/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="공정 건조 시 에너지 절감"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>공장 현장에서 건조에 사용하는 와트는 공정 마진에 쓸 수 없는 와트입니다. 기존 오븐과 핫플레이트는 리소그래피가 실제로 필요로 하는 ±0.1°C 균일도를 맞추기 위해 열 예산을 자주 초과하며 에너지를 낭비합니다. 빠르고 깨끗하며 반복 가능한 건조가 필요하지만, 유틸리티 비용이 급증해서는 안 됩니다.</p> http://eco-ir-heater.com/ko/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ Mon, 01 Jun 2026 12:21:19 +0800 http://eco-ir-heater.com/ko/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="팹용 적외선 히팅 모듈"></p> <p>제조 현장에서 온도는 단순한 파라미터가 아니다. 온도 <em>자체가</em> 공정이다.<br> 베이크 온도 편차는 포토레지스트 흐름을 이동시키고 치명적 치수(CD)를 변화시킨다. 웨이퍼 건조 중 발생하는 핫스팟은 미세한 스킨을 형성하여 표면을 입자 포집 구역으로 만든다. 패키징 공정에서는 균일하지 않은 큐어 프로파일이 휨과 박리 현상으로 나타나며, 이는 보통 다이 싱귤레이션 이후에야 확인되어 이미 다이에 비용이 투입된 상태다. 열 제어가 실패하면 라인이 단순히 느려지는 것이 아니라, 수율과 반복성이 먼저 영향을 받는다.<br> 우리는 팹 내에서 열 제어가 측정 가능하고, 안정적이며, Class 1–100 환경 내에서 공정 챔버에 위험을 추가하지 않고 작동할 수 있도록 적외선 가열 모듈을 개발했다.</p>