http://eco-ir-heater.com/ko/tags/%ED%8F%AC%ED%86%A0%EB%A0%88%EC%A7%80%EC%8A%A4%ED%8A%B8/ Recent content in 포토레지스트 on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ko Thu, 04 Jun 2026 00:44:02 +0800 http://eco-ir-heater.com/ko/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Thu, 04 Jun 2026 00:44:02 +0800 http://eco-ir-heater.com/ko/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="포토레지스트 박리 지원 히터"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>리소그래피 플로어에서는 스트리핑 챔버가 온도 변동에 대해 한 치의 여유도 주지 않는다. 웨이퍼 전면에서 0.5°C의 온도 편차가 발생하면 얇은 포토레지스트 잔류층이 남고, 미세 스컴이 발생하며, 입자 수가 증가한다. 바로 이 지점에서 포토레지스트 스트리핑 서포트 히터의 역할이 드러난다—열 경계 조건을 안정적으로 유지하여 화학 공정이 깨끗하게 완료될 수 있도록 한다.</p>