http://eco-ir-heater.com/ko/tags/mems/ Recent content in MEMS on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ko Sun, 19 Jul 2026 08:29:03 +0800 http://eco-ir-heater.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 19 Jul 2026 08:29:03 +0800 http://eco-ir-heater.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>MEMS 웨이퍼를 올바르게 건조시키는 방법<br> MEMS 센서 웨이퍼를 건조하는 것은 꽤 위험한 작업입니다. 열 분포를 적절히 조절하지 못하면 표면 장력으로 인해 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 그렇게 되면 섬세한 센서 막이 파괴됩니다.<br> 이를 방지하기 위해 우리는 특수한 적외선 가열 요소를 사용합니다. 목표는 남아있는 액체를 즉시 증발시키는 것이지만, 센서가 손상되지 않도록 해야 합니다.</p>