Hentikan amalan mengubah troli di bilik bersih tersebut menjadi “dapur” yang panas.
Kebanyakan elemen pemanasan akan memancarkan haba ke semua arah. Dalam bilik bersih untuk pengeluaran semikonduktor, ini merupakan masalah besar. Apabila menggunakan pemanas lama tersebut, dinding dalaman peralatan akan menyerap haba yang terbuang tersebut.
Akibatnya, badan peralatan akan menjadi terlalu panas sehingga sukar untuk disentuh, dan komponen-komponen sensitif akan rosak akibat pengembangan haba. Ini tentunya akan menyebabkan masalah besar.
Mengarahkan haba ke tempat yang sepatutnya
Kita boleh atasi masalah ini dengan menggunakan teknologi inframerah yang dapat mengarahkan haba ke tempat yang sepatutnya. Bayangkanlah ia seperti lampu suluh, bukannya pemanas biasa. Daripada memanaskan udara atau cangkerang logam, lampu inframerah akan menghantar radiasi elektromagnetik secara langsung ke permukaan benda yang diproses. Haba hanya akan bergerak apabila ia bertemu dengan permukaan yang mampu menyerap gelombang tersebut.
Dengan menggunakan lampu yang mempunyai lapisan reflektif atau kaca kuarsa yang berfungsi sebagai pembesar pancaran haba, kita dapat mengarahkan haba ke tempat yang sepatutnya. Dengan cara ini, masalah “kesan dapur” di dalam troli dapat dielakkan. Wafer atau substrat dapat dipanaskan dengan sempurna, sementara bahagian luar tetap sejuk.
Melindungi keselamatan pekerja
Mengurangkan haba pada dinding peralatan bukan sekadar cara untuk menjimatkan kos elektrik. Ia juga penting untuk melindungi keselamatan pekerja yang menggunakan mesin tersebut. Jika dinding tetap sejuk, tiada risiko kecederaan akibat haba yang panas semasa memuatkan komponen atau melakukan pemeriksaan penyelenggaraan.
Namun, kita perlu berhati-hati dengan kuasa yang digunakan. Lampu inframerah berkepadatan tinggi akan memanaskan objek dengan cepat. Namun, jika kuasa yang digunakan terlalu tinggi tanpa adanya perlindungan yang mencukupi, haba tersebut masih akan meresap ke dalam struktur peralatan. Saya biasanya mencadangkan agar lampu tersebut digabungkan dengan reflektor berlapis emas atau aluminium yang telah diproses dengan baik, agar pancaran haba dapat dikawal dengan baik.
Keseimbangan antara keberkesanan dan risiko
Menggunakan sistem pemanasan yang dapat mengarahkan haba ke tempat yang sepatutnya merupakan cara yang mudah untuk menggantikan sistem lama. Namun, ia akan mengubah cara mesin berfungsi. Kerana haba yang dihasilkan sangat tertumpu, mungkin akan timbul “titik sejuk” jika objek yang diproses tidak berada di posisi yang tepat. Penempatan objek perlu dilakukan dengan tepat. Jika penempatan sedikit salah, haba akan tersebar secara tidak merata.