Bersih on Eco-Friendly Infrared Heating

Pemanas untuk bilik bersih semikonduktor

Fri, 24 Jul 2026 09:07:10 +0800

Hentikan amalan mengubah troli di bilik bersih tersebut menjadi “dapur” yang panas.

Kebanyakan elemen pemanasan akan memancarkan haba ke semua arah. Dalam bilik bersih untuk pengeluaran semikonduktor, ini merupakan masalah besar. Apabila menggunakan pemanas lama tersebut, dinding dalaman peralatan akan menyerap haba yang terbuang tersebut.

Akibatnya, badan peralatan akan menjadi terlalu panas sehingga sukar untuk disentuh, dan komponen-komponen sensitif akan rosak akibat pengembangan haba. Ini tentunya akan menyebabkan masalah besar.

Mengarahkan haba ke tempat yang sepatutnya

Kita boleh atasi masalah ini dengan menggunakan teknologi inframerah yang dapat mengarahkan haba ke tempat yang sepatutnya. Bayangkanlah ia seperti lampu suluh, bukannya pemanas biasa. Daripada memanaskan udara atau cangkerang logam, lampu inframerah akan menghantar radiasi elektromagnetik secara langsung ke permukaan benda yang diproses. Haba hanya akan bergerak apabila ia bertemu dengan permukaan yang mampu menyerap gelombang tersebut.

Lampu inframerah untuk meja di bilik bersih

Mon, 13 Jul 2026 16:48:33 +0800

Cara untuk memanaskan komponen semikonduktor tanpa merosakkan peralatan tersebut
Pernahkah anda mencuba untuk memanaskan bahagian dalam peralatan semikonduktor, tetapi akhirnya seluruh mesin itu menjadi “dapur”? Itu merupakan masalah yang sering berlaku dalam bidang kejuruteraan.

Masalahnya ialah pemanas konvensional hanya memanaskan udara sahaja. Udara panas ini akan bergerak ke mana-mana, dan seterusnya memanaskan setiap permukaan yang dilaluinya. Akibatnya, terdapat kawasan yang sangat panas pada badan mesin, yang boleh membakar tangan pengendali atau merosakkan komponen elektronik yang sensitif.

Pemanas inframerah untuk bilik bersih

Thu, 02 Jul 2026 02:55:30 +0800

Pada garisan pengeluaran tersebut, wafer berukuran 300mm akan dimasukkan ke dalam stesen pembakaran. Lapisan fotoresist perlu mencapai suhu yang ditetapkan pada seluruh permukaannya dalam masa beberapa saat sahaja. Jika masa ini tidak dipenuhi, kawalan ketepatan CD akan terjejas, dan hasil pengeluaran pun akan terjejas.

Apa yang penting di sebaliknya
Kami menggunakan pemanas inframerah jenis gelombang pendek untuk memanaskan ruang bersih tersebut. Ini kerana kita memerlukan pemindahan tenaga yang cepat, bukan yang lambat. Sistem maklum balas tertutup memastikan suhu kekal pada tahap ±0.1°C. Dengan cara ini, kita dapat memastikan keseragaman suhu pada setiap wafer, dan data tersebut boleh diperoleh secara langsung daripada rekod data, tanpa perlu menunggu laporan harian.