http://eco-ir-heater.com/ms/tags/poskan/ Recent content in Poskan on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ms Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/ms/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/ms/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Pemanas untuk proses Post Exposure Bake (PEB)"></p> <p>Di bilik pengolahan fotorezist ini, perubahan suhu PEB tidak ditunjukkan melalui lampu amaran. Sebaliknya, ia ditunjukkan melalui perubahan ketebalan garis yang terbentuk, penurunan margin dos yang digunakan, serta bahan buangan yang hanya dapat dikesan setelah proses selesai. Kami mencipta pemanas khas ini untuk mengurangkan ketidakpastian tersebut, kerana kimia fotorezist tidak akan memaafkan kesilapan dalam pengawalan suhu.</p> <p><strong>Apa yang penting dari segi teknikalnya</strong><br> Kami menggunakan gelombang inframerah pendek dengan reka bentuk kuarsa-halogen, agar haba dapat disalurkan terus ke wafer. Ini mengurangkan inersia termal, sehingga proses penstabilan suhu berlaku dengan <a href="https://o-yate.net">lebih</a> cepat. Kestabilan suhu pada permukaan wafer adalah sekitar ±0.1°C, dan nilai tetap suhu tersebut cukup stabil agar dimensi kritikal wafer tidak berubah dari satu batch ke batch yang lain.</p>