Di lantai fab, ayunan setengah darjah semasa proses pembakaran photoresist sudah cukup untuk mengganggu lebar garisan dan menyebabkan banyak bahan...

Di lantai pengeluaran, masa operasi RTP dan kawalan suhu bukan pilihan. Jika lampu mengalir atau pemanas tidak dapat mengekalkan keseragaman, anda...