http://eco-ir-heater.com/nl/tags/bakken/ Recent content in Bakken on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo nl Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/nl/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/nl/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Verhittingsapparaat voor na expositie (PEB)"></p> <p>Op de lithografieafdeling wordt een temperatuurverschuiving van de PEB niet weergegeven door een waarschuwingslamp. In plaats daarvan zie je dat de lijndiktes veranderen, dat de dosismarge afneemt en dat er afval ontstaat dat pas later wordt opgemerkt. We <a href="https://henruite.com">hebben</a> deze nachtverwarmingsunit ontworpen om deze onzekerheden weg te nemen, want de chemie van de fotorezyst kan geen fouten tolereren wanneer de temperatuur buiten het gewenste bereik valt.</p> <p><strong>Wat technisch gezien belangrijk is</strong><br> We gebruiken kortegolflengte-infraroodlicht met een kwarts-halogeenontwerp. Hierdoor wordt de warmte rechtstreeks overgedragen op de wafer. Hierdoor is er minder thermische inertie en kan de temperatuur sneller worden geregeld. Op het oppervlak van de verwarmingseenheid blijft de uniformiteit van de temperatuur op het niveau van ±0,1°C. De stabiliteit van de temperatuur is voldoende hoog zodat de cruciale afmetingen niet sterk variëren van batch tot batch.</p>