Drogen on Eco-Friendly Infrared Heating

Energieaudit voor fabrieksdroging

Sun, 26 Jul 2026 12:01:46 +0800

Het veilig houden van onderdelen tijdens het drogen in een chemische fabriek

Wanneer je onderdelen in een chemische fabriek droogt, speel je letterlijk met vuur. Overal zijn gevaarlijke reinigingsmiddelen aanwezig. In zo’n omgeving kan één kleine vonk of een hete oppervlakte die in contact komt met het verkeerde materiaal, ervoor zorgen dat een werkdag verandert in een ramp. Daarom stoppen we de IR-verwarmingslampen niet zomaar in een doos; we omhullen ze zodat dit nooit kan gebeuren.

Het omhullen van de lampen

Stel je een standaard kwartsbuis voor: deze zijn broos. Erger nog: ze laten de elektrische contactpunten bloot. In een chemische omgeving is dat een oorzaak van problemen. Daarom sluiten we de lampen op in een beschermend behuizing. Het gaat hier niet alleen om een deksel; we gebruiken hoogwaardige borosilicaat- of kwartsmateriaal en combineren dit met dempingen die niet worden aangetast door corrosieve dampen. We elimineren ook alle openingen waar elektriciteit doorheen kan gaan. Alle verbindingen zijn goed afgesloten. Hierdoor ontstaan er geen bliksemschichten, zelfs wanneer de luchtvochtigheid stijgt. Het blijft dus veilig.

Droogheater voor MEMS sensorwafer

Sun, 19 Jul 2026 08:29:12 +0800

Het juist drogen van MEMS-chips
Het drogen van MEMS-sensorchips vereist veel precisie. Als de warmtedistributie niet goed is, werkt de oppervlaktespanning tegen, waardoor de sensormembranen beschadigd kunnen raken.

Om dit te voorkomen, gebruiken we gespecialiseerde infrarode verwarmingselementen. Het doel is eenvoudig: de overtollige vloeistoffen zo snel mogelijk verdampen, zonder dat de sensoren beschadigd raken.

De uitdagingen rondom warmte
Er is een belangrijk aspect: de temperatuur moet overal op de chip gelijk zijn. Als één plek warmer is dan de rest, buigt de chip. Dat is het gevolg.

Geautomatiseerde wafer droger verwarmingselement

Mon, 08 Jun 2026 02:32:27 +0800

Op de fabrieksvloer laten fotolakverwerking en nabehandelingsdrogen weinig ruimte voor fouten. We hebben het over tolerantie op nanometerniveau. Een baktemperatuur die afwijkt, een droogprofiel dat niet uniform is, of een enkele deeltje die tijdens het verwarmen wordt geïntroduceerd — en veel wafers kunnen meteen afgeschreven worden.
We hebben de geautomatiseerde wafer-droogverwarmer ontwikkeld om die variabelen uit te schakelen.

Wat er onder de motorkap gebeurt
De unit maakt gebruik van kortegolf-infrarood (NIR) emitter met gesloten-lusregeling. De setpointstabiliteit blijft binnen ±0,1°C over de wafer, en de thermische uniformiteit op het procesvlak wordt gehouden binnen ±0,1°C. Dit zorgt voor herhaalbare soft bake- en hard bake-profielen, batch na batch.
De behuizing van de verwarmer is gemaakt van kwarts en hoogzuiver roestvrij staal, met onderdelen die weinig uitstoot geven en een laminaire luchtstroomopbouw. Het doel is eenvoudig: deeltjesproductie tot nul reduceren. Hij sluit aan op geautomatiseerde transportbanen en standalone drogers, terwijl RS-485/Modbus zorgt voor receptbeheer en traceerbaarheid.