Geautomatiseerde wafer droger verwarmingselement

Mon, 08 Jun 2026 02:32:27 +0800

Op de fabrieksvloer laten fotolakverwerking en nabehandelingsdrogen weinig ruimte voor fouten. We hebben het over tolerantie op nanometerniveau. Een baktemperatuur die afwijkt, een droogprofiel dat niet uniform is, of een enkele deeltje die tijdens het verwarmen wordt geïntroduceerd — en veel wafers kunnen meteen afgeschreven worden.
We hebben de geautomatiseerde wafer-droogverwarmer ontwikkeld om die variabelen uit te schakelen.

Wat er onder de motorkap gebeurt
De unit maakt gebruik van kortegolf-infrarood (NIR) emitter met gesloten-lusregeling. De setpointstabiliteit blijft binnen ±0,1°C over de wafer, en de thermische uniformiteit op het procesvlak wordt gehouden binnen ±0,1°C. Dit zorgt voor herhaalbare soft bake- en hard bake-profielen, batch na batch.
De behuizing van de verwarmer is gemaakt van kwarts en hoogzuiver roestvrij staal, met onderdelen die weinig uitstoot geven en een laminaire luchtstroomopbouw. Het doel is eenvoudig: deeltjesproductie tot nul reduceren. Hij sluit aan op geautomatiseerde transportbanen en standalone drogers, terwijl RS-485/Modbus zorgt voor receptbeheer en traceerbaarheid.

Geautomatiseerd on Eco-Friendly Infrared Heating

Geautomatiseerde wafer droger verwarmingselement