http://eco-ir-heater.com/pt/tags/pastilha/ Recent content in Pastilha on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo pt Mon, 08 Jun 2026 02:32:26 +0800 http://eco-ir-heater.com/pt/posts/automated-wafer-drying-heater/ Mon, 08 Jun 2026 02:32:26 +0800 http://eco-ir-heater.com/pt/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Aquecedor automatizado para secagem de wafers"></p> <p>No chão de fábrica, o processamento de fotorresiste e a secagem pós-limpeza não permitem margem para erros. Estamos falando de tolerâncias na ordem de nanômetros. Uma temperatura de baking que deriva, um perfil de secagem que não é uniforme, ou uma partícula dispersa introduzida durante o aquecimento — e você pode dar adeus a muitos wafers.<br> Construímos o aquecedor automatizado para secagem de wafers para eliminar essas variáveis.</p> <p><strong>O que importa no funcionamento interno</strong><br> A unidade utiliza emissores infravermelho de onda curta (NIR) com controle em malha fechada. A estabilidade do setpoint mantém-se dentro de ±0,1°C em toda a superfície do wafer, e a uniformidade térmica no plano do processo é mantida em ±0,1°C. Isso garante a repetibilidade dos perfis de soft bake e hard bake, lote após lote.<br> O corpo do aquecedor é confeccionado em quartzo e aço inox de alta pureza, com componentes de baixa emissão de gases e um layout de fluxo de ar laminar. O objetivo é simples: manter a geração de partículas em zero. Ele se integra a trilhos automatizados e secadores independentes, com controle de receita e rastreabilidade via RS-485/Modbus.</p>