Инфракрасное отверждение полимерного клея для полупроводников

Fri, 26 Jun 2026 01:17:10 +0800

На линиях производства с диаметром пластины 300 мм процесс высыхания клея не является просто ещё одним термическим этапом. Это фактор, влияющий на размеры изделия. Небольшие отклонения могут привести к изменению структуры фотополимера, что в свою очередь вызывает смещение слоев и снижение качества изделия ещё до того, как ретикула сможет соприкоснуться с пластиной. Поэтому мы перешли на использование инфракрасного излучения для обработки клея — это помогает устранить факторы неопределенности в процессе.

Что действительно важно Мы используем ближнее инфракрасное излучение для нагрева слоев клея и фотополимера. Это позволяет добиться однородности температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Температура измеряется на границе слоев, а не на поверхности нагревателя. Устройство работает в чистой комнате без каких-либо проблем; оно соответствует стандартам класса 1–100, не создает частиц, что подтверждается контролем за количеством частиц в реальном времени. Устройство позволяет выполнять процессы нагрева с точным контролем температуры, что делает его пригодным для использования на производствах с высокой производительностью, круглосуточно, без простоев.

Клей on Eco-Friendly Infrared Heating

Инфракрасное отверждение полимерного клея для полупроводников