http://eco-ir-heater.com/ru/tags/%D0%BF%D0%BE%D1%81%D1%82/ Recent content in Пост on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ru Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/ru/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/ru/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Нагреватель для отжига после облучения (PEB)"></p> <p>На этапе литографии отклонения температуры PEB не проявляются в виде сигналов тревоги. Они проявляются в изменениях ширины линий, уменьшении допустимого диапазона дозировки, а также в необходимости утилизации бракованных изделий, что становится очевидно только после окончания процесса. Мы разработали этот нагреватель для устранения этих неопределенностей, ведь химия фоторезиста не терпит отклонений от заданных температурных параметров.</p> <p><strong>Что имеет значение с технической точки зрения</strong> Мы используем коротковолновое инфракрасное излучение с кварцево-галогенной технологией, благодаря чему тепло передается непосредственно на пластину. Это снижает тепловую инерцию и ускоряет процесс нагрева. На поверхности нагревателя однородность температуры на уровне пластины составляет ±0,1°C, а стабильность заданной температуры достаточно высока, чтобы критические размеры изделий не менялись от партии к партии.</p>