http://eco-ir-heater.com/th/tags/%E0%B9%81%E0%B8%9C%E0%B9%88%E0%B8%99%E0%B9%80%E0%B8%A7%E0%B9%80%E0%B8%9F%E0%B8%AD%E0%B8%A3%E0%B9%8C/ Recent content in แผ่นเวเฟอร์ on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo th Mon, 08 Jun 2026 02:32:28 +0800 http://eco-ir-heater.com/th/posts/automated-wafer-drying-heater/ Mon, 08 Jun 2026 02:32:28 +0800 http://eco-ir-heater.com/th/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="เครื่องทำความร้อนอบแห้งแผ่นเวเฟอร์อัตโนมัติ"></p> <p>บนพื้นโรงงาน การประมวลผลฟอโตรเรซิสต์และการอบแห้งหลังทำความสะอาดไม่อนุญาตให้เกิดข้อผิดพลาดมากนัก เรากำลังพูดถึงความคลาดเคลื่อนระดับนาโนเมตร อุณหภูมิการอบที่เปลี่ยนแปลง โปรไฟล์การอบแห้งที่ไม่สม่ำเสมอ หรืออนุภาคขนาดเล็กที่ปะปนเข้ามาระหว่างการให้ความร้อน — อาจทำให้แผ่นเวเฟอร์จำนวนมากเสียหายได้<br> เราได้พัฒนาตัวทำความร้อนอบแห้งแผ่นเวเฟอร์อัตโนมัติเพื่อลดความแปรปรวนเหล่านี้</p> <p><strong>สิ่งที่สำคัญใต้ฝากระโปรง</strong><br> ตัวเครื่องใช้ตัวปล่อยแสงอินฟราเรดคลื่นสั้น (NIR) พร้อมระบบควบคุมแบบปิด วงจร อุณหภูมิเป้าหมายถูกควบคุมให้อยู่ในช่วง ±0.1°C ตลอดแผ่นเวเฟอร์ และความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ระนาบกระบวนการถูกควบคุมที่ ±0.1°C ซึ่งเป็นปัจจัยที่ทำให้โปรไฟล์การอบนุ่มและอบแข็งมีความซ้ำกันในแต่ละล็อต<br> ตัวเครื่องทำจากควอตซ์และสแตนเลสเกรดสูงที่มีความบริสุทธิ์สูง พร้อมส่วนประกอบที่ปล่อยก๊าซต่ำและการจัดเรียงการไหลของอากาศแบบลามิเนียร์ เป้าหมายคือเพื่อลดการสร้างอนุภาคให้เป็นศูนย์ รองรับการเชื่อมต่อกับรางอัตโนมัติและเครื่องอบแห้งแบบแยกส่วน พร้อมการควบคุมสูตรและการติดตามย้อนกลับผ่าน RS-485/Modbus</p> <p><strong>เหตุผลที่สามารถใช้งานได้ในสายการผลิต</strong><br> ในกระบวนการลิโทกราฟี อุณหภูมิการอบฟอโตรเรซิสต์จะเป็นตัวควบคุมความหนืด ความหนา และความสม่ำเสมอของขนาดเชิงวิศวกรรม (CD) ขณะเดียวกันในการทำความสะอาดและอบแห้ง การควบคุมอุณหภูมิจะช่วยลดแรงตึงผิวและป้องกันการยุบตัวของแพตเทิร์นโดยไม่ก่อให้เกิดการปนเปื้อน<br> การรองรับสภาพแวดล้อมในคลีนรูมระดับ Class 1–100 ได้มาจากรอยต่อที่ปิดผนึก การระบายอากาศที่รองรับ HEPA และวัสดุที่เลือกมาเพื่อลดการปลดปล่อยอนุภาค ผลลัพธ์คือมิติวิศวกรรมที่คาดการณ์ได้ การลดงานแก้ไข และประสิทธิภาพการผลิตที่คงที่<br> NIR มีการตอบสนองที่รวดเร็ว ทำให้เวลาวงจรลดลงโดยไม่เพิ่มค่าใช้จ่ายด้านความร้อน รวมถึงการลดการใช้พลังงานด้วย</p> <p><strong>สิ่งที่ต้องวางแผนล่วงหน้า</strong><br> การติดตั้งจำเป็นต้องใช้ไฟฟ้าที่ผ่านการรับรองสำหรับคลีนรูมและการเดินสายกราวด์ที่เหมาะสมเพื่อรักษาขอบเขตของ EMI/EMC ให้ครบถ้วน ตรวจสอบให้แน่ใจว่าแรงดันไฟฟ้าและกระแสในพื้นที่สอดคล้องกับการตั้งค่าของชุดปล่อยแสงที่ใช้งาน<br> ตัวเครื่องขึ้นอุณหภูมิตามเป้าหมายได้รวดเร็ว แต่ต้องไม่นำเวลาการแช่อุณหภูมิเข้าในสูตรทำงาน โดยเฉพาะเมื่อเปลี่ยนความหนาหรือประเภทของเรซิสต์<br> หากใช้เรซิสต์ที่มีสารละลายเข้มข้น ควรตรวจสอบความสามารถของระบบระบายอากาศภายในพื้นที่เพื่อให้ความเข้มข้นอยู่ในโซนปลอดภัย เรามีเอกสารการติดตั้ง การติดตามการสอบเทียบ และการตรวจสอบหน้างานเพื่อให้สอดคล้องกับแผนการควบคุมกระบวนการของท่าน</p> <iframe width="560" height="315" src="https://www.youtube.com/embed/HQMsLvBU7Sg?feature=oembed" title="เครื่องทำความร้อนอบแห้งแผ่นเวเฟอร์อัตโนมัติ" frameborder="0" allow="accelerometer; [autoplay](https://o-yate.com); clipboard-write; encrypted-media; [gyroscope](https://henruite.com); picture-in-picture; web-share" referrerpolicy="strict-origin-when-cross-origin" allowfullscreen></iframe>