http://eco-ir-heater.com/th/tags/mems/ Recent content in MEMS on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo th Sun, 19 Jul 2026 08:29:06 +0800 http://eco-ir-heater.com/th/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 19 Jul 2026 08:29:06 +0800 http://eco-ir-heater.com/th/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="เครื่องอบชิ้นส่วนเซ็นเซอร์ MEMS"></p> <h1 id="วธการทำใหแผนวสด-mems-แหงอยางถกตอง">วิธีการทำให้แผ่นวัสดุ MEMS แห้งอย่างถูกต้อง</h1> <p>การทำให้แผ่นเซ็นเซอร์ MEMS แห้งนั้นเป็นเรื่องที่ต้องระมัดระวังมาก เพราะหากไม่สามารถควบคุมการกระจายความร้อนได้อย่างเหมาะสม ความตึงผิวของของเหลวจะทำให้เกิดการเกาะกันของแผ่นเซ็นเซอร์ และส่งผลให้แผ่นเซ็นเซอร์ที่มีความละเอียดสูงเสียหายไป</p> <p>เพื่อป้องกันปัญหานี้ เราจึงใช้อุปกรณ์ทำความร้อนแบบอินฟราเรด โดยมีเป้าหมายเพียงอย่างเดียว นั่นคือการทำให้ของเหลวที่เหลืออยู่ระเหยออกไปอย่างรวดเร็ว โดยไม่ทำให้เซ็นเซอร์เสียหาย</p> <h2 id="ปญหาเรองความเขมของความรอน">ปัญหาเรื่องความเข้มของความร้อน</h2> <p>ปัญหาก็คือ ความเข้มของความร้อนที่ส่งไปยังแผ่นวัสดุต้องสม่ำเสมอทั่วทั้งแผ่น หากมีจุดใดที่ร้อนกว่าจุดอื่น แผ่นวัสดุก็จะบิดเบี้ยวได้</p> <p>เราจึงสร้างอุปกรณ์ทำความร้อนที่มีกำลังไฟสูง เพื่อให้สามารถสร้างความร้อนได้อย่างรวดเร็ว แต่ก็มีข้อเสียอยู่ เพราะกำลังไฟสูงจะสร้างแรงกดดันมากต่อแหล่งจ่ายไฟ ดังนั้นจึงต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าแหล่งจ่ายไฟของคุณสามารถรองรับกระแสไฟที่เพิ่มขึ้นได้</p> <h2 id="การรกษาความสะอาด">การรักษาความสะอาด</h2> <p>ในโรงงานผลิต การปนเปื้อนถือเป็นปัญหาใหญ่ แค่มีเศษโลหะเพียงเล็กน้อย ก็อาจทำให้แผ่นวัสดุทั้งหมดเสียหายได้</p> <p>ดังนั้นเราจึงใช้ท่อควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อบรรจุอุปกรณ์ทำความร้อนไว้ วิธีนี้จะช่วยป้องกันไม่ให้มีก๊าซหรือสิ่งสกปรกเข้าไปในโครงสร้างของ MEMS เราเลือกใช้ทังสเตนเป็นวัสดุสำหรับทำอุปกรณ์ทำความร้อน เพราะทังสเตนมีจุดหลอมเหลวสูงมาก และมีความเสถียรสูง ดังนั้นเราจึงหลีกเลี่ยงการใช้โลหะผสมราคาถูกที่อาจเกิดการสึกหรอหรือเปลี่ยนสภาพหลังจากใช้งานไปไม่กี่สัปดาห์</p> <h2 id="การหาจดสมดลระหวางความเรวกบแรงกดดน">การหาจุดสมดุลระหว่างความเร็วกับแรงกดดัน</h2> <p>เราออกแบบอุปกรณ์ทำความร้อนนี้ให้สามารถใช้แทนอุปกรณ์ทำความร้อนแบบมาตรฐานได้ และยังเสริมความแข็งแรงให้กับตัวเชื่อมต่อ เพื่อไม่ให้หลอดไฟหลุดออกมาเมื่อเครื่องทำงาน</p> <p>แต่คุณก็ยังต้องหาจุดสมดุลระหว่างความเร็วในการทำความร้อนกับแรงกดด์ที่เกิดขึ้นด้วย การเพิ่มแรงดันไฟเพื่อทำให้แผ่นวัสดุแห้งเร็วขึ้นนั้นอาจทำให้เกิดความเสียหายได้ คุณต้องหาจุดสมดุลระหว่างกำลังไฟที่ส่งไปยังหลอดไฟกับความเร็วในการเคลื่อนที่ของแผ่นวัสดุ มิฉะนั้นแผ่นวัสดุก็อาจถูกเผาไหม้ได้</p> <p>อีกข้อแนะนำหนึ่งก็คือ อย่าเลือกอุปกรณ์ทำความร้อนที่มีกำลังไฟสูงเกินไปสำหรับพื้นที่ที่มีอยู่ หากอุปกรณ์ทำความร้อนมีกำลังไฟสูงเกินไป พัดลมระบายความร้อนก็จะต้องทำงานหนักเพื่อป้องกันไม่ให้อุปกรณ์เสียหาย</p>