http://eco-ir-heater.com/tr/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo tr Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/tr/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/tr/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Maruziyet sonrası ısıtıcı (PEB)"></p> <p>Litografide, PEB sıcaklığındaki değişiklikler uyarı ışığıyla belirtilmez. Bu değişiklikler, genişleyen çizgi kalınlıkları, azalan dozaj değerleri ve ancak sonradan fark edilen atık ürünler şeklinde kendini gösterir. Bu belirsizlikleri ortadan kaldırmak için bu tür bir ısıtıcı geliştirdik; çünkü fotorezist kimyasalları, belirlenen termal aralığın dışına çıkılmasına izin vermez.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar:</strong> Kuarz-halojen tasarımı sayesinde kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınlar doğrudan wafer üzerine iletilir. Bö<a href="https://o-yate.com">ylece</a> termal atalet azalır ve daha hızlı bir ısı dağılımı sağlanır. Isıtma yüzeyinde waferin sıcaklık homojenliği ±0,1°C civarında kalır ve ayarlanan sıcaklık değerleri yeterince <a href="https://goldisgood.com">stabil</a> olduğundan kritik boyutlarda büyük değişiklikler olmaz.</p>