http://eco-ir-heater.com/uk/tags/%D0%B0%D0%B2%D1%82%D0%BE%D0%BC%D0%B0%D1%82%D0%B8%D0%B7%D0%BE%D0%B2%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Автоматизований on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo uk Mon, 08 Jun 2026 02:32:29 +0800 http://eco-ir-heater.com/uk/posts/automated-wafer-drying-heater/ Mon, 08 Jun 2026 02:32:29 +0800 http://eco-ir-heater.com/uk/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Автоматизований нагрівач для сушіння пластин"></p> <p>На виробничій ділянці обробка фоторезисту та сушка після очищення не допускають помилок. Мова йде про допуски на рівні нанометрів. Невелике відхилення температури випалювання, нерівномірний профіль сушки або одна випадкова частинка, що потрапила під час нагріву, — і багато пластин вважаються втраченими.<br> Ми розробили автоматизований нагрівач для сушки пластин, щоб виключити ці змінні.</p> <p><strong>Що важливо всередині</strong><br> Пристрій базується на короткохвильових інфрачервоних (NIR) випромінювачах з системою зворотного зв’язку. Стабільність заданої температури утримується в межах ±0,1°C по всій пластині, і термооднорідність у робочій зоні процесу також тримається на рівні ±0,1°C. Саме це забезпечує відтворюваність профілів м’якого і жорсткого випалювання із серії в серію.<br> Корпус нагрівача виготовлений з кварцу та нержавіючої сталі високої чистоти, із деталями, що мають низький рівень газовиділення, та конструкцією для ламінарного потоку повітря. Мета проста — утримувати генерацію частинок на нульовому рівні. Пристрій підключається як до автоматизованих транспортних систем, так і до автономних сушарок, контроль рецептів і відстеження здійснюється через RS-485/Modbus.</p>