http://eco-ir-heater.com/uk/tags/exposure/ Recent content in Exposure on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo uk Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/uk/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/uk/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Нагрівач для післяекспозиційної обробки (PEB)"></p> <p>На поверхні плати для літографії зміни температури PEB не проявляються через спеціальний індикатор. Вони проявляються у вигляді змін ширини ліній на кристалі, зменшення допуску до дозування, а також у вигляді відходів, які можна помітити лише після завершення процесу. Ми створили цей нагрівач для подальшої обробки кристалів, щоб усунути цю невизначеність – адже хімія фотополімерів не прощає помилок, пов’язаних із виходом за межі заданого температурного діапазону.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong><br> Ми використовуємо короткохвильове інфрачервоне випромінювання з кварцово-галогенною схемою, тож тепло передається безпосередньо на кристал. Це зменшує теплову інерцію та прискорює процес стабілізації температури. На всій поверхні нагрівача однорідність температури на рівні кристала становить ±0,1°C, а стабільність параметрів залишається на достатньому рівні, щоб критичні розміри не змінювалися від партії до партії.</p>