Hãy ngừng biến những chiếc xe đựng thiết bị trong phòng sạch thành “lò nướng” đi!
Hầu hết các bộ phận sưởi ấm đều tỏa nhiệt ra mọi hướng. Trong phòng sạch dùng cho sản xuất linh kiện bán dẫn, điều này gây ra nhiều vấn đề. Khi sử dụng những bộ phận sưởi ấm cũ kỹ, các bức tường bên trong thiết bị sẽ hấp thụ toàn bộ năng lượng thừa đó. Kết quả là thân thiết bị trở nên quá nóng đến mức khó chạm vào được; các linh kiện nhạy cảm cũng bị biến dạng do sự giãn nở nhiệt. Đó là một tình trạng tồi tệ.
Đưa nhiệt lượng đến đúng vị trí cần thiết
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng công nghệ tia hồng ngoại có hướng chiếu. Hãy coi đó như một chiếc đèn pin, chứ không phải máy sưởi thông thường. Thay vì cố gắng làm ấm không khí hoặc vỏ kim loại của thiết bị, các bóng đèn tia hồng ngoại sẽ truyền bức xạ điện từ trực tiếp đến vật liệu cần được làm nóng. Năng lượng chỉ được truyền khi chạm vào bề mặt có khả năng hấp thụ các bước sóng đó.
Bằng cách sử dụng các bóng đèn có lớp phản chiếu hoặc vỏ thủy tinh được tinh chỉnh kỹ lưỡng, chúng ta có thể đưa nhiệt lượng đến đúng vị trí cần thiết. Như vậy, hiện tượng “lò nướng” bên trong thiết bị sẽ không xảy ra nữa. Các tấm wafer hoặc vật liệu cần được làm nóng sẽ đạt đến nhiệt độ mong muốn, trong khi vỏ bên ngoài vẫn giữ được độ mát.
Bảo vệ nhân viên
Việc giảm nhiệt độ trên các bức tường của thiết bị không chỉ giúp tiết kiệm chi phí điện năng mà còn bảo vệ những người vận hành máy móc. Khi các bức tường vẫn giữ được độ mát, chúng ta không cần lo lắng về việc ai đó bị bỏng do tiếp xúc với nhiệt độ cao khi lắp ráp linh kiện hoặc kiểm tra máy móc.
Tuy nhiên, chúng ta cần chọn đúng công suất của bóng đèn. Các bóng đèn tia hồng ngoại có mật độ năng lượng cao sẽ làm nóng vật liệu rất nhanh. Nhưng nếu sử dụng quá nhiều công suất và không có lớp bảo vệ, nhiệt lượng vẫn có thể lan vào bên trong thiết bị. Tôi thường khuyên nên sử dụng các bóng đèn kèm với lớp phản chiếu bằng vàng hoặc nhôm được đánh bóng kỹ lưỡng để kiểm soát luồng nhiệt.
Nhược điểm
Việc chuyển sang sử dụng công nghệ sưởi có hướng thường khá dễ dàng so với các hệ thống cũ. Tuy nhiên, điều này cũng thay đổi cách mà máy móc hoạt động. Vì nhiệt lượng được tập trung vào một điểm cụ thể, nếu vật liệu cần được làm nóng không được đặt đúng vị trí, bạn sẽ gặp phải tình trạng “vùng lạnh”. Vị trí đặt vật liệu cần được xác định chính xác. Nếu sai lệch dù chỉ một chút, việc làm nóng sẽ không đồng đều.