http://eco-ir-heater.com/vi/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo vi Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/vi/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/vi/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Máy sấy sau quá trình phơi sáng (PEB)"></p> <p>Trên khu vực xử lý bằng phương pháp lithography, sự thay đổi nhiệt độ của PEB không được hiển thị qua đèn báo động. Thay vào đó, điều này biểu hiện qua việc độ rộng của các đường kẻ trên wafer thay đổi, giới hạn liều lượng chiếu xạ bị suy giảm, và số lượng sản phẩm lỗi tăng lên; những vấn đề này chỉ có thể được phát hiện sau khi quy trình đã hoàn tất. Chúng tôi chế tạo thiết bị sưởi này để loại bỏ những yếu tố gây ảnh hưởng này, bởi vì hóa chất dùng <a href="https://goldisgood.com">trong</a> quy trình phơi sáng sẽ không tha thứ cho bất kỳ sự sai lệch nhiệt độ nào.</p>