可与真空环境兼容的红外加热器

为什么在半导体加工中，真空红外加热比热风加热更优？ 如果您有过半导体加工的经验，那么您一定了解等待的痛苦——尤其是等待物料温度升高的过程。长期以来，我们一直依赖热风循环来加温。但问题在于：空气其实只是个“中间介质”。我们先加热空气，再让空气去加热晶圆表面的壁层，最终才能使晶圆升温。这个过程既缓慢又...