http://eco-ir-heater.com/zh/tags/%E6%9B%9D%E5%85%89%E6%8F%AD%E9%9C%B2%E6%8E%A5%E8%A7%A6/ Recent content in 曝光；揭露；接触 on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo zh Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/zh/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/zh/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="曝光后烘烤 PEB 加热器"></p> <p>在光刻过程中，PEB阶段的温度变化并不会通过警示灯来显示出来。其表现形式是线条宽度的波动、剂量偏差的增加，以及最终产生的废品——这些问题往往要在事后才能被发现。我们设计了这种曝光后烘烤装置，就是为了消除这些不确定性，因为光刻胶的化学性质不允许其工作温度超出特定范围。</p>