ফ্যাব ফ্লোরে
ফটোরেজিস্ট প্রসেসিং এবং পোস্ট- ক্লিন ড্রাইংয়ে ভুল করার জন্য খুব বেশি জায়গা নেই। আমরা ন্যানোমিটার-স্তরের টলারেন্সের কথা বলছি। একটি বেক তাপমাত্রা যা পরিবর্তিত হয়, একটি শুষ্ক প্রোফাইল যা সমান নয়, কিংবা তাপের সময় একটিও বিচ্ছিন্ন কণার উপস্থিতি — এবং অনেক ওয়েফার বিদায় নিতে পারে। আমরা এই পরিবর্তনশীলতাগুলিকে দূরে রাখতে স্বয়ংক্রিয় ওয়েফার ড্রাইং হিটার তৈরি করেছি।
অন্তর্নিহিত বিষয়গুলি এই ইউনিটটি স্বল্প-তরঙ্গ ইনফ্রারেড (NIR) এমিটার ব্যবহার করে, যেটি ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণের সাথে থাকে। সেটপয়েন্ট স্থিতিশীলতা ওয়েফারের বিভিন্ন জায়গায় ±0.1°C এর মধ্যে থাকে, এবং প্রক্রিয়া প্লেনে তাপীয় সামঞ্জস্য ±0.1°C বজায় থাকে। এটি সফট বেক এবং হার্ড বেক প্রোফাইলগুলিকে পুনরাবৃত্তিযোগ্য রাখে, লটের পর লট।
হিটার বডি কোয়ার্টজ এবং উচ্চ-শুদ্ধ স্টেইনলেস স্টীল, নিম্ন-আউটগ্যাসিং অংশ এবং একটি লামিনার এয়ারফ্লো লেআউট নিয়ে গঠিত। লক্ষ্যটি সহজ: কণার উৎপাদন শূন্যে রাখা। এটি স্বয়ংক্রিয় ট্র্যাক এবং স্ট্যান্ড-অলোন ড্রাইয়ারে প্লাগ ইন করা যায়, এবং RS-485/Modbus রেসিপি নিয়ন্ত্রণ এবং ট্রেসেবিলিটির জন্য ব্যবহৃত হয়।
কারণ এটি উৎপাদনে টিকে থাকে লিথোগ্রাফিতে, ফটোরেজিস্ট বেক তাপমাত্রা হল সেই নিয়ামক যা ভিসকোসিটি, পুরুত্ব এবং সিডি সামঞ্জস্য নিয়ন্ত্রণ করে। পরিষ্কার এবং শুকানোর ক্ষেত্রে, নিয়ন্ত্রিত তাপমাত্রা পৃষ্ঠের টেনশন কমায় এবং প্যাটার্নের ধ্বংস প্রতিরোধ করে — কোন দূষণ যোগ না করেই। ক্লিনরুমের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণতা Class 1–100 এর মাধ্যমে সিল করা জয়েন্ট, HEPA-সামঞ্জস্যপূর্ণ এক্সহস্ট, এবং এমন উপকরণগুলি থেকে আসে যা সর্বনিম্ন কণাকে ছড়ায়। এর ফলস্বরূপ: পূর্বনির্ধারিত গুরুত্বপূর্ণ মাত্রা, কম পুনরায় কাজ, এবং স্থিতিশীল উৎপাদন।
NIR দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেখায়, তাই সাইকেল সময় কমে যায়, আপনার তাপীয় বাজেট নষ্ট না করেই। শক্তির ব্যবহারও কমে।
আপনাকে যা পরিকল্পনা করতে হবে স্থাপনায় ক্লিনরুম-মূল্যায়িত পাওয়ার এবং গ্রাউন্ডিংয়ের প্রয়োজন রয়েছে যাতে EMI/EMC সীমানা অক্ষুণ্ণ থাকে। আপনার স্থানীয় ভোল্টেজ এবং অ্যাম্পিয়ার এমিটার অ্যারে কনফিগারেশনের সাথে মিলে কিনা তা নিশ্চিত করুন। হিটার দ্রুত সেটপয়েন্টে পৌঁছে, তবে রেসিপিতে তাপীয় সোয়াক টাইম ভুলে যাবেন না — বিশেষ করে যখন আপনি পুরুত্ব বা রেজিস্টার প্রকার পরিবর্তন করেন। যদি আপনি সলভেন্ট-সমৃদ্ধ রেজিস্টার ব্যবহার করেন, তবে নিশ্চিত করুন যে আপনার স্থানীয় এক্সহস্ট ক্ষমতা সুরক্ষিত অঞ্চলে ঘনত্ব রাখতে পারে। আমরা আপনার প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ পরিকল্পনার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হতে ইন্টিগ্রেশন ডকুমেন্টেশন, ক্যালিব্রেশন ট্রেসেবিলিটি, এবং সাইটে যাচাই প্রদান করি।