ফ্যাব ফ্লোরে, থার্মাল ড্রিফট হলো একটি গুরুতর সমস্যা; এটা সবসময় দৃশ্যমান নয়। ফটোরেজিস্ট সফ্ট বেক প্রক্রিয়ায় ০.৫°C এর মতো তাপমাত্রা পরিবর্তনও কার্যকরী আকারগুলোকে বিঘ্নিত করতে পারে। ক্লিনিং-এর পর যদি তাপমাত্রা সমানভাবে না থাকে, তাহলে জলের দাগ তৈরি হয়; এগুলো পরবর্তীতে ত্রুটিতে পরিণত হয়। আমরা “ল্যাব অন চিপ” ড্রাইং হিটার ব্যবহার করে এই সমস্যাগুলো দূর করেছি।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা কোয়ার্টজ-হ্যালোজেন এমিটার ব্যবহার করে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড তরঙ্গ ব্যবহার করি; এতে দ্রুত ও পরিষ্কারভাবে শক্তি সরবরাহ হয়, ফলে কোনো সমস্যা হয় না। ওয়েফারের ক্ষেত্রে তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; আর সেটপয়েন্টের পুনরাবৃত্তি হয় ±০.৫°C এর মধ্যে। অর্থাৎ, প্রতিবারের সফ্ট/হার্ড বেক প্রক্রিয়াতেই একই তাপমাত্রা বজায় থাকে।
তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা হয় ২°C/সেকেন্ড হারে; অতিরিক্ত তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা হয়। এটা খুবই গুরুত্বপূর্ণ, কারণ এর ফলে পাতলা ফিল্মগুলো থেকে সলভেন্টগুলো দ্রুত অপসারিত হয়, আর ফিল্মগুলোতে কোনো ক্ষতি হয় না। এই ডিজাইনটি ক্লিনরুম-সংগত; হট জোনে কোনো কণা উৎপন্ন হয় না, এবং HEPA সিস্টেমের সাথে এটি সুসংগত। পাওয়ার ডেনসিটি এমনভাবে সামঞ্জস্য করা হয়েছে যাতে দ্রুত তাপ প্রয়োগ হয়, আর কোনো গ্রেডিয়েন্ট তৈরি না হয়। এটি CE-সম্মত পাওয়ার ও সিগন্যাল ইন্টারফেসের মাধ্যমে স্ট্যান্ডার্ড প্রক্রিয়াগুলোর সাথে সংযুক্ত হয়।
কেন এটি কার্যকর?
ওয়েফার ড্রাইংয়ে তাপ দ্রুত ও সমানভাবে প্রয়োগ হয়; ফলে পৃষ্ঠের টেনশন দ্রুত কমে যায়। DI রিন্স প্রক্রিয়ার পর পৃষ্ঠটি সম্পূর্ণ পরিষ্কার থাকে; কোনো জলের দাগ থাকে না। লিথোগ্রাফিতে সফ্ট/হার্ড বেক প্রক্রিয়াগুলো সমানভাবে সম্পন্ন হয়; ফলে CD-গুলো স্থিতিশীল থাকে, আর লাইন-এজের খারাপ অবস্থা কমে যায়।
প্যাকেজিংয়ে হিটারটি ক্যাপসুলেন্ট ও আন্ডারফিলগুলোকে নিয়ন্ত্রিতভাবে শুকানোর কাজ করে। এর ফলে অ্যাডহেশন উন্নত হয়, আর ভয়েডিং কমে যায়। ফলে পুনরাবৃত্তির প্রয়োজন কমে যায়, সাইকেল টাইম স্থিতিশীল থাকে, আর নির্ভুল ডিউটি-সাইকেল নিয়ন্ত্রণের ফলে শক্তি ব্যবহারও স্থিতিশীল থাকে।
পরিকল্পনার জন্য কী কী বিষয় বিবেচনা করতে হবে?
হিটারটির জন্য স্থিতিশীল ভোল্টেজ প্রয়োজন; যাতে ±০.১°C এর মধ্যে তাপমাত্রা বজায় থাকে। যদি ভোল্টেজ ২% এর বেশি পরিবর্তিত হয়, তাহলে প্রোফাইলটি বিঘ্নিত হয়, আর আবার ক্যালিব্রেশন করতে হয়। ইনস্টলেশনের সময় এক্সহস্ট রুটিং ঠিকভাবে করতে হবে—হট জোনটিকে বাইরের অবস্থার থেকে আলাদা রাখতে হবে।
প্রতি ৫,০০০ ঘণ্টা অন্তর সার্টিফাইড রেফারেন্স সেন্সর দিয়ে ক্যালিব্রেশন করতে হবে। এর ফলেই নির্ধারিত স্থিতিশীলতা ও পুনরাবৃত্তি বজায় থাকে।