V prostředí výroby je tepelná odchylka tím „tichým zabijákem kvality“, kterého ne vždy můžete vidět. Pohyb teploty o 0,5 °C během procesu zahřívání fotorezistu může narušit kritické rozměry. Nesrovnalé vysoušení po čištění? To zase vede ke vzniku vodních stop, které se později mění v vady. Vytvořili jsme zařízení Lab on Chip s ohřívačem určeným k vysoušení, abychom odstranili tuto nejistotu.
Co je z technického hlediska důležité Používáme krátkovlnné infrazáření s emitorami typu kvarc-halogen – rychlý a efektivní přenos energie, který nezpůsobuje vznik „horkých míst“. Na celé aktivní ploše je rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost nastavených hodnot je ±0,5 °C. To znamená, že každé zahřívání probíhá podle stejných podmínek, série za sérií.
Rychlost změny teploty je regulována na 2 °C/s, přičemž je potlačován nadměrný nárůst teploty. To je důležité při odstraňování rozpouštědel z tenkých vrstev, aniž by došlo k jejich poškození. Design zařízení je kompatibilní s prostředím čistých míst tříd 1–100: žádná tvorba částic v horké zóně, izolace odvodů výfukových plynů a konstrukce vyhovující požadavkům HEPA filtrů. Hustota napájecího proudu je nastavena tak, aby docházelo k rychlé reakci teploty bez vzniku gradientů. Zařízení lze integrovat do standardních výrobních nástrojů díky CE-certifikovaným rozhraním pro napájení a signály.
Proč to funguje tam, kde je to důležité Při vysoušení destiček je teplo rychlé a rovnoměrné, takže povrchové napětí rychle klesá. Po opláchnutí destičky pomocí DI voda zcela zmizí. V litografii jsou profile zahřívání velmi přesné – rozměry destiček zůstávají stabilní a drsnost hranic čar se snižuje.
Při balení vám ohřívač umožňuje kontrolované zasychání použitých materiálů. Zlepšuje se adheze a minimální je množství vzduchových mezer. Praktickým výsledkem je méně oprav, stabilní doby cyklů a předvídatelná spotřeba energie díky přesné kontrole pracovního režimu.
Podrobnosti, na které je potřeba myslet Ohřívač potřebuje stabilní napájecí napětí, aby byla zachována rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C. Pokud se napětí mění více než o 2 %, profil teplot se mění a bude nutné ho znovu nastavit. Instalace musí zajistit správné uspořádání odvodů výfukových plynů – horká zóna musí být izolována od okolních proudění vzduchu.
Je také potřeba každých 5 000 hodin provést kalibraci pomocí certifikovaného referenčního senzoru. To zajišťuje udržení požadované rovnoměrnosti a opakovatelnosti.