V provozu výroby způsobují tepelné výkyvy během procesů zahřívání čipů a zpracování fotorezistů nejen snížení kvality výstupních produktů – dokonce ji úplně zničí. Nekonzistentnost teploty o 0,5 °C na povrchu waferu vytváří gradient v samotném fotorezistu, což po expozici a zpracování převádí na chyby ve rozměrech čipů. Potřebujete tedy teplotu, kterou lze považovat za skutečný procesní parametr, a ne za nějakou nekontrolovatelnou veličinu.
Co je důležité Naše ohřívací lampy pro testování waferů jsou postaveny na základě krátkovlnných NIR kvartových vysílačů – ty totiž rychle a přesně vyzařují energii, přičemž mají přesnou spektrální kontrolu. Výsledkem je konzistentní teplota na povrchu waferu v rozmezí ±0,1 °C, reprodukovatelné profily zahřívání a dostatečně rychlá reakce systému na změny teploty, aby bylo možné dosáhnout stabilních hodnot bez překročení limitů. Systém je navržen tak, aby fungoval v čistých prostorách tříd 1–100, s použitím materiálů s nízkou emisí plynů a mechanickou konstrukcí, která zabrání vzniku částic přímo v místě ohřevu. Výstupní hodnoty zůstávají stabilní po dobu více než 5 000 hodin, s odchylkou intenzity menší než 5 % – takže váš tepelný „rozpočet“ zůstává konzistentní u každé série výrobků.
Proč to odpovídá tomu, co skutečně děláte Během procesů zahřívání čipů a testování je potřeba, aby čip čelil skutečnému tepelnému stresu – bez vlivů spojených s obalovými materiály, které by zkazily výsledky měření. V procesech litografie vyžaduje fotorezist rovnoměrné zahřívání po celém povrchu waferu. Naše lampy zajistí tu potřebnou přesnost, přičemž zároveň udržují nízkou spotřebu energie a dlouhé intervaly údržby. Díky tomu máte lepší kontrolu nad kritickými rozměry čipů, méně potřeby oprav a možnost plánování provozu – už nemusíte řešit problémy s teplotními výkyvy v 2 hodiny ráno.
Na co si dát pozor Tyto lampy jsou kompaktní, ale jejich tepelná hustota je vysoká. Instalace vyžaduje správnou tepelnou izolaci od sousedních modulů a správné uspořádání ventilace – jinak mohou být poškozeny blízké polymery a kabely. Lamy se snadno instalují do standardních montážních míst, ale tolerance ohledně zarovnání vysílače s povrchem waferu jsou velmi přísné – nastavte to jednou, zdokumentujte to a poté to udržujte v této poloze.