Na povrchu čipů stačí během sušení posun o půl stupně, aby došlo k narušení kritických rozměrů a začaly se objevovat vady v fotorezistu. Je potřeba teplo, které přesně odpovídá požadavkům procesu – po celou dobu provozu, v každé šarži. To je realita, na které je navržena tato infračervená svítidla určená k sušení silikonových čipů.
Co je z technického hlediska důležité
Používáme krátkovlnná infračervená svítidla s rychlým náběhem teploty a přesnou kontrolou spektra. Díky tomu dochází k rychlému přenosu tepla, aniž by došlo k překročení limitů tolerancí fotorezistentu. V osvětlené oblasti zůstává rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C. Opakovatelnost je zajištěna pomocí pyrometrie přímo u výstupu svítidla. Celý systém je kompatibilní s prostředím čistých místností od třídy 1 do třídy 100. Materiály a geometrie konstrukce zajistují minimální tvorbu částic. V praxi dosahují tyto svítidla provozní doby přes 5 000 hodin, přičemž stabilita výstupního signálu zůstává v rozmezí 5 % – to je opravdu spolehlivá hodnota.
Proč fungují v reálných procesech
Při sušení pomocí rotace a oplachování, stejně jako při odstraňování vlhkosti po čištění, infrazrcená světla urychlují sušení čipů, přitom zabraňují problémům spojeným s deformací vzoru nebo vznikem kapének na okrajích čipů. V litografii slouží stejná svítidla k měkkému i tvrdému sušení, přičemž teplota je přesně regulována. To umožňuje lepší kontrolu šířky linií a snižuje množství odpadních produktů. Výsledkem je nižší spotřeba energie díky efektivnímu přenosu tepla a menší doba nečinnosti kvůli údržbě. Tento design splňuje mezinárodní standardy pro polovodičové zařízení a nabízí alternativu k existujícím řešením.
Na co je potřeba se připravit
Instalace závisí na termických okolnostech a průtoku vzduchu – svítidlo je potřeba umístit na určené místo a zarovnat ho s trasou čipů. Jinak ztratíte požadovanou rovnoměrnost. V blízkosti skenerů a dalších zařízení může být potřeba použít izolaci nebo upravit uspořádání kabelů. Předem plánujte krátký testovací provoz, abyste mohli ověřit teplotní profily v souladu s vašimi procesními požadavky. Poté nastavte potřebné hodnoty.