Na povrchu čipů stačí během sušení posun o půl stupně, aby došlo k narušení kritických rozměrů a začaly se objevovat vady v fotorezistu. Je potřeba...

Na výrobní podlaze závisíte na řízení teploty. Při zpracování fotoresistu znamená desetina stupně rozdíl mezi čistým průběhem a šarží určenou k...