Auf der Lithografieebene zeigt sich eine Temperaturverschiebung des PEB-Verfahrens nicht durch ein Warnlicht an. Stattdessen äußert sich dies in Schwankungen der Linienbreite, in einer Verringerung des Dosisfensters sowie in Ausschusswaren, die erst hinterher entdeckt werden. Wir haben diesen Nachbehandlungsheizer entwickelt, um diese Unsicherheiten auszuschließen – schließlich verzeiht die Chemie des Fotolacks keine Abweichungen außerhalb seines thermischen Bereichs.
Was technisch wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahlung mit Quarz-Halogendesign – dadurch wird die Wärme direkt auf den Wafer übertragen. Dadurch entsteht weniger thermische Trägheit und die Erwärmung erfolgt schneller. Auf der entire Heizfläche bleibt die Homogenität des Wafers bei ±0,1°C, und die Stabilität der Setzpunkte ist hoch genug, sodass die kritischen Abmessungen von Charge zu Charge konstant bleiben.
Der Heizer eignet sich für Reinräume der Klassen 1–100. Die Materialien und Dichtungen sind so gewählt, dass keine Partikel entstehen und die Abgase unter Kontrolle bleiben. In der Produktion muss der Heizer rund um die Uhr funktionieren – er ist dafür geeignet, 24/7 ohne Unterbrechungen zu arbeiten, selbst dann, wenn der Zeitplan keine Unterbrechungen zulässt.
Warum es funktioniert
Beim Fotolackverarbeitungsprozess sorgt das PEB-Verfahren für die chemische Vergrößerung, die letztendlich das Muster bestimmt. Dieser Heizer sorgt dafür, dass die vorgegebenen Temperaturen erreicht werden – egal ob es sich um eine sanfte oder intensive Erwärmung handelt. Dadurch wird eine bessere Kontrolle der Abmessungen möglich, es entstehen weniger Rückarbeitsschritte, und die Produktivität bleibt konstant. Durch effiziente Wärmeverteilung und präzise Temperaturregelung sinkt außerdem der Energieverbrauch. Zudem werden die Wartungsaufwände reduziert, da die Komponenten robust sind und das thermische Design gut durchdacht ist.
Dinge, die man im Hinterkopf behalten sollte
Die Installation ist einfach, doch bei der Integration müssen Sie auf den Abluftweg, die Gasreinigung sowie die bereits vorhandenen Sicherheitsmechanismen achten. Stellen Sie sicher, dass Ihr vorhandener Controller mit der Reaktionszeit des Heizers mithalten kann. Wenn der PID-Zyklus zu langsam ist, können Sie nicht vom vollen Nutzen der hohen Temperaturen profitieren. Führen Sie zunächst eine kurze Testserie durch, um die Temperaturprofile mit den Daten zur Linienbreite abzugleichen. Anschließend können Sie die Parameter festlegen.