Hören Sie auf, Ihre Energie zu verschwenden!
In einer Halbleiterfabrik bedeutet jeder verschwendete Watt im Grunde genommen Geldverschwendung. Die meisten Menschen denken nicht darüber nach – doch ein großer Teil der Infrarotenergie der Heizelemente geht einfach verloren und wird in den Wänden des Behälters absorbiert. Das ist eine Verschwendung.
Deshalb verwenden wir reflektierende Elemente mit Goldbeschichtung. Das klingt zwar kompliziert, aber das Ziel ist einfach: Die Wärme soll tatsächlich auf das Wafer gelangen, anstatt den Raum zu erwärmen.
Warum Gold?
Herkömmliche Quarzlampen strahlen die Energie in alle Richtungen ab. Durch die Verwendung einer dünnen Goldschicht können wir über 98 Prozent dieser Infrarotenergie zurückreflektieren. Dadurch ändert sich die Dynamik komplett: Anstelle einer breiten, schwachen Wärmestrahlung erhält man einen gezielten Strahl. So kann man die gewünschte Temperatur viel schneller erreichen. Zudem muss man nicht die Spannung erhöhen, um den Verlust auszugleichen – dadurch gehen die Glühfäden seltener kaputt.
Die Wärme genau dorthin bringen, wo sie benötigt wird
Der eigentliche Trick liegt in der Form des Reflektors. Wir passen diese Form so an, dass die Wärme genau auf dem Wafer landet. Wenn man keine solche Anpassung vornimmt, entstehen kühle Stellen. Auf einer 300-mm-Fläche sind solche Temperaturunterschiede ein Albtraum. Mit der richtigen Anpassung ist die Wärmeverteilung gleichmäßig und vorhersehbar.
Der Trade-off (denn es gibt immer einen)
Der Nachteil ist: Wenn man so viel Energie bündelt, werden die Elektroden der Lampe stark belastet. Zudem muss der Gehäusekörper mit der zurückgeworfenen Wärme umgehen. Man darf die Kühlung nicht ignorieren – bei zu geringer Luftzirkulation sterben die Lampen viel schneller. Man muss sicherstellen, dass die Kühlanlagen mit der höheren Energiebelastung zurechtkommen.
Fazit
Wir haben diese Geräte so konstruiert, dass sie als einfacher Ersatz für Ihre aktuellen IR-Anlagen dienen können. Man muss sie nur in die vorhandenen Steuerungen anschließen – fertig.
Das Beste daran: Der Energieverbrauch nimmt ab, während die Prozesstemperaturen konstant bleiben. Ihr HVAC-System wird Ihnen sicherlich auch dankbar sein – schließlich dringt weniger unerwünschte Wärme in die Fabrik ein.